奥林巴斯激光共聚焦显微镜OLS5000

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上海铸金分析仪器有限公司

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激光共聚焦扫描显微镜也叫激光共焦显微镜、激光扫描共聚焦显微镜、激光显微镜、激光扫描显微镜等。上海铸金分析仪器有限公司供应原装进口奥林巴斯激光共聚焦扫描显微镜（激光共焦显微镜,激光扫描共聚焦显微镜,共聚焦激光显微镜）奥林巴斯的激光共聚焦扫描显微镜配备有高级光学系统，可以通过无损观察方式，为用户提供高超的图像质量和准确的3D测量。其操作准备工作简单易行，且不需要对样品进行前处理。
奥林巴斯激光共聚焦显微镜OLS5000概述：
OLS5000激光共焦显微镜可精确测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。数据采集比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍，从而大大提高了生产效率。
▲高分辨率，精确成像
捕捉任意表面形貌。凭借对各种类型样品进行精确3D测量的能力，系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。
●卓越的横向分辨率
405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜难以发现的精细纹理和缺陷。
●一致的测量值
LEXT专用物镜可精确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。
●新开发的MEMS扫描振镜
新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差，可进行精确的X-Y扫描。
●4K扫描技术
K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。
OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及极低的台阶。
●捕获真实形貌
由于传统激光显微镜采用诸如平滑消除噪声等标准图像处理技术，其有时会将精确测得的细微高度不规则测量数据连同噪声一起消除。
OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判别算法，可在不丢失细微高度不规则测量数据的情况下实现精确测量。
●其他高分辨率测量技术
▪MEMS扫描PEAK算法
▪双共焦系统
▪Sq噪声（测量噪声）保证
▪准确性和重复性均可保证
▪混合匹配算法
▪混合阻尼机构
▪HDR扫描
▲快速检测
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度，从而缩短您的扫描时间，简化您的工作流程，*终实现生产力的提升。获得可靠数据的速度比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍。
●PEAK算法
OLS5000显微镜采用了用于3D数据构建的PEAK算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采集时间。
●跳跃式扫描
在测量存在近似垂直面（如电子器件或MEMS）样品上的台阶形貌时，可通过限制Z方向扫描范围缩短数据采集时间。
在不降低精度的情况下，测量700微米的台阶大约在15秒左右（使用MPLAPON20x物镜时）。
●其他提高速度的技术
▪频带扫描
▪1线数据采集
▲便捷操作
只需放好样品按下按钮即可。系统具有自动数据采集功能，因而无需进行复杂的设置调整。甚至普通用户也可以获得准确的检测结果。
●简化测量区域
简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度、面积和体积。自动检测测量结果变动的原因（如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值）让测量结果保持稳定，不受操作员技能水平的影响。
●自动图像校正
智能判别处理可在无损数据精度的情况下自动消除测量噪声，而智能找平功能可探测零高度位置的主水平面（参考平面）。简单一次点击即可启动两项工作。
●利用模板节省时间
报告中包含的所有操作和过程均可保存为模板。
在重复进行相同测量时，使用此模板可采用同一流程获得下一组数据的分析报告。
无需操作人员干预即可指定操作流程和测量点的功能能够以*小差异进行快速、精确的分析。
●令系统更便于使用的其他技术
▪实时宏观测图
▪连续自动对焦
▪智能扫描II
▪宏功能
▲适用于大尺寸样品测量的大行程
测量高达210毫米的样品。
奥林巴斯激光共聚焦显微镜OLS5000应用：
●汽车/金属加工
●材料
●电子元器件
●其他
奥林巴斯激光共聚焦显微镜OLS5000技术参数：
▲主机

型号		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
总倍率		54x - 17,280x
视场直径		16um - 5,120um
帧率（激光观察）[fps]		3.25 / 55.6
帧率 (彩色观察) [FPS]		30
测量原理	光学系统	反射式共焦激光扫描激光显微镜
		反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
		彩色
		彩色-DIC
	光接收元件	激光：光电倍增管（2ch）彩色：CMOS彩色相机
高度测量	显示分辨率	0.5纳米
	光栅尺	0.78纳米
	动态范围	16位
	可重复性σ 1 2 *5 n-1	5X：0.45μm, 10X：0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm
	正确性 1 3 *5	0.15+L/100微米(L:测量值[毫米]）
	拼接图像正确性 1 3 *5	10X：5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm （L: 测量长度[μm]）
	测量噪声（Sq噪声） 1 4 *5	1纳米
宽度测量	显示分辨率	1纳米
	可重复性 3σn-1 1 2 *5	5X：0.4μm, 10X：0.2μm, 20X：0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm
	精度 1 3 *5	测量值+/- 1.5％
	拼接图像精度 1 3 *5	10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [mm])
单次测量时测量点的*大数量		4096 x 4096像素
测量点的*大数量		3600万像素
XY载物台配置	长度测量模块	•	不适用	不适用	•	不适用
	工作范围	100×100毫米电动	100×100毫米手动	300 X300毫米电动	100×100毫米电动	100×100毫米手动
*大样品高度		100毫米	40毫米	37毫米	210 毫米	150毫米
激光光源	波长	405纳米
	*大输出	0.95毫瓦
	激光分类	2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色光源		白光LED
电气功率		240瓦	240瓦	278瓦	240瓦	240瓦
质量	显微镜主体	约31公斤	约32公斤	约50公斤	约43公斤	约44公斤
	控制箱	约12公斤

* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20˚C±1˚C, 湿度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物镜测量时超过20次。
* 3 在使用LEXT专用物镜测量时。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物镜测量时的典型值。
* 5 基于奥林巴斯认证体系保证。
▲物镜技术规格

系列	型号	数值孔径（NA）	工作距离（WD）（毫米）
UIS2物镜	MPLFLN2.5x	0.08	10.7
UIS2物镜	MPLFLN5x	0.15	20
LEXT专用物镜（10X）	MPLFLN10xLEXT	0.3	10.4
LEXT专用物镜（10X）	MPLAPON20xLEXT	0.6	1
LEXT专用物镜（高性能型)	MPLAPON50xLEXT	0.95	0.35
	MPLAPON100xLEXT	0.95	0.35
	LMPLFLN20xLEXT	0.45	6.5
LEXT专用物镜（长工作距离型）	LMPLFLN50xLEXT	0.6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0.8	3.4
	SLMPLN20x	0.25	25
超长工作距离物镜	SLMPLN50x	0.35	18
	SLMPLN100x	0.6	7.6
	LCPLFLN20xLCD	0.45	8.3-7.4
适用于LCD透镜的长工作距离	LCPLFLN50xLCD	0.7	3.0-2.2
适用于LCD透镜的长工作距离	LCPLFLN100xLCD	0.85	1.2-0.9

▲奥林巴斯激光共聚焦显微镜OLS5000应用软件

标准软件	OLS50-BSW	数据采集app 分析app (简单分析)
电动载物台套装应用*1	OLS50-S-MSP
扩展分析应用*2	OLS50-S-AA
薄膜厚度测量	OLS50-S-FT
自动边缘测量应用	OLS50-S-ED
颗粒物分析应用	OLS50-S-PA
多文件分析应用	OLS50-S-MA
球体/圆柱体表面角度分析应用	OLS50-S-SA

* 1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
* 2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
▲奥林巴斯激光共聚焦显微镜OLS5000产品系列
●OLS5000-SAF
▪100毫米电动载物台
▪*大样品高度:100毫米
●OLS5000-EAF
▪100毫米电动载物台
▪*大样品高度:210毫米
●OLS5000-SMF
▪100毫米手动载物台
▪*大样品高度:40毫米
●OLS5000-EMF
▪100毫米手动载物台
▪*大样品高度:150毫米
●OLS5000-LAF
▪300毫米电动载物台
▪*大样品高度:37毫米

品牌：	奥林巴斯
型号：	OLS5000
加工定制：	是
类型：	激光共聚焦扫描显微镜
目镜放大倍数：	1
物镜放大倍数：	1
仪器放大倍数：	54-17280X
适用范围：	亚微米级的形貌和表面粗糙度